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              产品展示

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              Email : nbd@nbdkj.com
              公司地址: 郑州·新郑·新村镇郑州理工职业学院内
                  CVD系统 当前位置:网站首页 > 产品展示

              RTP快速退火炉

              发布时间:2017-11-16  浏览次数:1537

              产品型号:NBD-HR1200-110IT-170
              商品简述:NBD HR系列高温快速热处理退火炉简称RTP。 
              该产品采用成熟的制造工艺,RTP快速退火炉造型新颖结构合理; 
              目前已被各种试样实验多次验证,RTP快速退火炉并已广泛用于半导体器件研发及生产等领域; 

              该系统主要用于: 
              1.可满足离子注入后的快速退火; 
              2.也可用于欧姆接触快速合金; 
              3.还可用于硅化物合金退火,RTP快速退火炉氧化物生长; 
              4.以及铜铟镓硒光伏应用中的硒沉积等快速热处理工艺场合。 
              该设备是国家专利保护产品,专利号:CN201310005931.6
              快速热处理退火炉简称 RTP(Rapid Thermal Processing Furnace),RTP快速退火炉在成熟的生产制造工艺的基础上,自主研发了该款产品,拥有发明专利。RTP快速退火炉该设备不但拥有较快的升温速率500℃/S,而且在烧结工艺运行完结,直接将试样在高温区取出。实现物理状态下的较快降温。我们的工程师们巧妙地利用了冷壁工艺,RTP快速退火炉在绿色节能环保的基础上实现了试样的快速升降温!
              腔体采用了不同的进气结构,内管进气,外管出气,RTP快速退火炉使得反应气氛与加工样品充分而均匀地接触。测温元件直接和试样接触,保证试样温度的准确性。


              RTP快速退火炉主要技术参数

              1

              项 目

              主要技术指标

              数据

              2

              规格型号

              NBD-HR1200-110IT-170

              3

              温度控制

              最高温度点

              1200℃

              4

              额定温度

              1100℃

              5

              稳定状态温度范围

              100~1000℃

              6

              温度测量精度

              ±0.2℃

              7

              温度控制重复性

              ±1℃

              8

              温度控制精确度

              ±1℃

              9

              温场均匀性

              ±2℃

              10

              温度状态工艺时间(S)

              2~100(100~1000℃)

              11

              最快升温速率

              500℃/S

              12

              降温速率(℃/S)

              1~200(通氮气,速率更快)

              13

              温度控制模式

              智能模糊全闭环控制

              14

              软件功能

              操控系统

              NBD-101智能系统

              15

              用户界面

              中英文互换

              16

              工艺菜单编辑

              触屏式图像操作界面

              17

              扩充端口

              可扩充真空测控和FFC供气

              18

              看门狗

              系统进入死循环时关闭主控制器

              19

              热电偶校准状态检测

              软件校准,方便准确,软件分析传感器状态是否正常

              20

              超高温状态检测

              软件检测出温度信息出现高温异常时,切断主回路

              21


              触摸屏尺寸

              7"LCD

              22

              物理指标

              最大功率

              15kw

              23

              额定电压

              AC380~400V,50Hz(60Hz定制)

              24

              传感器类型

              S型单铂铑

              25

              反应腔室内径尺寸

              Φ100X200mm

              26

              式样有效空间

              3.5"

              27

              真空度

              4.3×10-3Pa(外配分子泵)

              28

              抽气端口尺寸

              KF16(或Φ8mm宝塔嘴)

              29

              供气口尺寸

              Φ6.35mm双卡套

              30

              冷却方式

              自然冷却或强迫风冷N2或压缩空气:2psi (0.14kg/cm2) – 7psi(0.5kg/cm2) 

              31

              外形净尺寸(mm)

              长920×深500×高560

              32

              重量

              净重65kg

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